高温氧化扩散炉

产品应用：应用于集成电路、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池等领域，适用2～8英寸工艺尺寸 
 
产品特点： 
◆主机为水平一至四管炉系统构架，独立完成不同的工艺或相同工艺 
◆工业计算机控制系统，对炉温、进退舟、气体流量、闸门等动作进行自动控制 
◆采用悬臂送片器：操作方便、无摩擦污染等 
◆关键部件均采用进口，确保设备的高可靠 
◆工艺管路采用进口阀门管件组成-气密好、耐腐蚀、无污染（管路均采用EP级电抛光管路），流量控制采用质量流量计（MFC）进口 
◆控温精度高，温区控温稳定好； 
◆具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能 
◆高质量的加热炉体，确保恒温区的高稳定及长寿命