normal align=center style=tt-align:center;> PFA花篮
normal align=center style=tt-align:center;>
normal style=margin-left:0pt;tt-indent:0pt;background:#FFFFFF;> PFA花篮(PFA wafer Cassette) 又名 清洗花蓝 ,铁氟龙卡匣 , 铁氟龙晶舟盒 ,铁氟龙晶圆盒为承载半导体晶圆片/硅片的容器,耐酸耐碱耐腐蚀(强酸、强氟酸、强碱),主要用于半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用、传送晶圆。我司PFA花篮,进入化学酸、碱蚀刻制程中,可搭配PFA把手使用。
二、参数
normalTable border=1 cellspacing=0 style=border:none;>
normal align=center style=tt-align:center;> 名称 |
normal align=center style=tt-align:center;> 规格 |
normal align=center style=tt-align:center;> 耐温 |
normal align=center style=tt-align:center;> 应用 |
normal align=center style=tt-align:center;> normal align=center style=tt-align:center;> PP Cassette normal align=center style=tt-align:center;> |
normal align=center style=tt-align:center;> 2寸 |
normal align=center style=tt-align:center;> -200260℃ |
normal align=center style=tt-align:center;> 酸碱传输制程 |
normal align=center style=tt-align:center;> 4寸 |
|||
normal align=center style=tt-align:center;> 6寸 |
三、特点
1.耐腐蚀:耐受强酸强碱
2.搭配可活动把手,用于晶圆芯片清洗运输
3.耐高低温:-200260℃
4.耐绝缘:介电能与温度、频率无关;
5.防污染:本底值低,金属元素铅铀含量小于0.01ppb;
6.低的溶出和析出,确保晶圆芯片无污染
7.化学能稳定
公司拥有三十多年PFA制品生产加工经验,公司投入大量人力、物力致力于太阳能光伏相关产品的研发,截止目前,公司推出的光伏用--太阳能硅片花篮,太阳能硅片承载器,硅片花蓝半导体清洗花篮。
南京滨正红仪器有限公司
夏晴晴