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真空水平多关节型5轴洁净机械手臂

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更新: 2021-10-14 13:26
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公司基本资料信息
 
 
真空水平多关节型5轴洁净机械手臂


真空水平多关节型5轴洁净机械手臂特点: 
5轴真空水平多关节型洁净机械手臂GTVCR5000系列
实现了下降价格,但是也可以维持以前的GTVHR5000系统的机能,功能
能够在真空环境下对应并排摆放的腔室工作台布局,能够灵活地适应不同类型设备的多种布局
通过优化机械手臂的空间尺寸,有利于减小真空腔室的内部容积
非常适合inline设备
机械手臂标准臂长:280mm, 330mm
手臂关节处使用磁流体密封装置
真空密封:磁流体密封装置以及波纹管
提高洁净度的方法:手臂内部排气口安装5μm级过滤器
双手指机构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
配备动作监视器
控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式
全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机
S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆
手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质
晶圆固定方式:下托式,利用晶圆自重的边缘夹持式,利用O型胶圈的摩擦力
可以针对搬运物体,客户设备布局的实际情况提供最优的手指



真空水平多关节型5轴洁净机械手臂基本参数:
使用环境                    洁净间内的大气:温度 15°C-40°C
工艺室温度                 最大450°C
手臂                          单臂
到达距离                    635mm (手臂第3关节中心基准)
升降轴最大行程          60mm
可搬运质量                4kg (手臂第3关节处基准)


如需详细产品参数 请联系我们衡鹏
http://www.hapoin.com/wafer_transfer_robot/gtvcr5330.htm



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